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產(chǎn)品名稱：5910UHP型水分分析儀
產(chǎn)品型號(hào)：5910UHP型水分分析儀
產(chǎn)品廠商：其它品牌
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簡(jiǎn)單介紹：

5910UHP型水分分析儀石英晶體微平衡水分分析儀在超高純度（UHP）氣體pptv級(jí)水分監(jiān)測(cè)方面有著****的性能。操作簡(jiǎn)單的19"機(jī)架安裝分析儀具有很多出色的性能特點(diǎn)，包括內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng)，可以為你的半導(dǎo)體氣體體系提供能夠獲得的*好的保護(hù)。工作量程能夠達(dá)到1000ppbv。

詳情介紹：

5910UHP型水分分析儀
石英晶體微平衡水分分析儀在超高純度（UHP）氣體pptv級(jí)水分監(jiān)測(cè)方面有著****的性能。操作簡(jiǎn)單的19"機(jī)架安裝分析儀具有很多出色的性能特點(diǎn)，包括內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng)，可以為你的半導(dǎo)體氣體體系提供能夠獲得的*好的保護(hù)。工作量程能夠達(dá)到1000ppbv。

5910UHP型水分分析儀

概述

概述
摘要
5910型水分分析儀是目前監(jiān)測(cè)存在于高純大氣氣體中的痕量水分污染物的先進(jìn)設(shè)備。5910型水分儀的**性能是將**度，靈敏度，和響應(yīng)速度****的結(jié)合到一起。
極低的噪聲和極強(qiáng)的靈敏度使得該水分分析儀的檢測(cè)限達(dá)到了150ppt。*小的樣氣接觸表面使5910對(duì)變化的水分甚至比光學(xué)儀器有更好的響應(yīng)，因?yàn)楣鈱W(xué)儀器的響應(yīng)速度受到大很多的樣氣接觸體積的固有限制。

5910型水分分析儀只能在19"機(jī)架/椅式安裝，帶配備本地顯示器和鍵盤。內(nèi)置的零點(diǎn)校驗(yàn)系統(tǒng)是標(biāo)準(zhǔn)配置。

需求
現(xiàn)今，許多半導(dǎo)體制造設(shè)備都要求氣體中的水分濃度低于ppbv級(jí)。遺憾的是，單個(gè)數(shù)字的ppbv數(shù)值級(jí)別的水分濃度測(cè)量依然是當(dāng)今已知的分析領(lǐng)域中*困難的挑戰(zhàn)之一。

當(dāng)監(jiān)測(cè)單個(gè)數(shù)字的ppbv數(shù)值級(jí)別或者更低的水分濃度時(shí)，分析儀的響應(yīng)速度的限制不是來自測(cè)量使用的技術(shù)。*重要的參數(shù)是流經(jīng)樣品池的樣氣接觸表面，還包括樣品池，這些表面和一個(gè)新的濕潤(rùn)水平達(dá)到平衡比起傳感元件測(cè)量需要更長(zhǎng)的時(shí)間。如果，在瞬時(shí)濕潤(rùn)情況下，分析儀不能和這個(gè)新的數(shù)值達(dá)到物理平衡，傳感元件就感應(yīng)不到實(shí)際的持續(xù)時(shí)間和數(shù)量。因此，一臺(tái)以光速運(yùn)行的傳感器很容易感應(yīng)不到微小的，瞬時(shí)的情況，一些需要大樣品體積的光學(xué)系統(tǒng)對(duì)這些情況存在的反應(yīng)是模糊的。

解決方案
阿美特克過程儀器5910型UHP水分分析儀達(dá)到了****基線穩(wěn)定性和對(duì)水分濃度ppt級(jí)改變的靈敏度，同時(shí)能夠獲得*快的響應(yīng)速度。穩(wěn)定性和靈敏度的改進(jìn)是非常仔細(xì)周全的機(jī)械設(shè)計(jì)的直接產(chǎn)物，使得您能*好地保護(hù)您的半導(dǎo)體氣體體系。

5910型水分分析儀甚至對(duì)水分濃度*輕微的變化也很敏感。我們知道這是因?yàn)樗脑肼曀降陀?0pptv。這種非凡的設(shè)計(jì)就使得它的檢測(cè)限只有150pptv。

5910型水分分析儀被設(shè)計(jì)成有*小的逆流表面積以及對(duì)于任何可用的濕度分析技術(shù)來說的*小的樣氣體積。當(dāng)這些與5910的溫控箱結(jié)合時(shí)，對(duì)增加和減少的水分濃度就能達(dá)到意想不到的響應(yīng)速度：在任一方向一個(gè)25 ppbv的改變達(dá)到80%響應(yīng)所需的時(shí)間少于8分鐘。對(duì)一臺(tái)分析儀的設(shè)計(jì)更嚴(yán)格的測(cè)試是對(duì)水分濃度更微小變化的響應(yīng)速度。5910型水分分析儀的產(chǎn)品資料包含了一個(gè)性能曲線，證明了5910型水分儀的對(duì)3.4ppbv級(jí)挑戰(zhàn)的**的響應(yīng)速度。

每一款5910型水分分析儀都能通過內(nèi)在的零點(diǎn)氣體系統(tǒng)快速而**的校驗(yàn)其零點(diǎn)基線。這種零點(diǎn)校驗(yàn)確保了分析儀有穩(wěn)定的零點(diǎn)基線。這是至關(guān)重要的，因?yàn)樗蠻HP氣體的目的是獲得盡可能低的水分含量。其他技術(shù)不具備這個(gè)能力，不能確定分析儀顯示的零點(diǎn)是它實(shí)際的零點(diǎn)或者其他更高或者更低的數(shù)值。

5910型水分分析儀實(shí)質(zhì)上適合所有非腐蝕性氣體，包括惰性氣體（He, Ar, Ne, Xe, Kr）, O2, H2, 和N2 。轉(zhuǎn)換氣體只是軟件菜單中的一個(gè)簡(jiǎn)單快捷的選項(xiàng)。

典型的應(yīng)用包括質(zhì)量保證的連續(xù)監(jiān)測(cè)和臨時(shí)的車載移動(dòng)分析監(jiān)測(cè)。

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產(chǎn)品名稱：5910UHP型水分分析儀