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簡單介紹:
ST4000-DLX厚度儀
·標準模式
·工業(yè)規(guī)格
·適合科研中心
測量迅速,操作簡單
非接觸式,非破壞方式
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尺寸 | 500 x 610 x 640 mm |
重量 | 45Kg |
類型 | 手動的 |
測量樣本大小 | ≤ 8", 12" |
測量方法 | 無連接的 |
測量原理 | 反射計 |
特點 |
測量迅速,操作簡單 |

活動范圍 | 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12") |
測量范圍 | 100?~ 35?(Depends on Film Type) |
光斑尺寸 | 40?/20?, 4?(option) |
測量速度 | 1~2 sec./site |
應(yīng)用領(lǐng)域 | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Wafer Measurement & OLED |
選項 |
Programmable Auto Z Stage
參考樣品(K-MAC or KRISS or NIST)
|
焦點 | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
附帶照明 | 12v 100W Halogen Lamp |