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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:CG1100-RTP氧氣分析儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CG1100-RTP氧氣分析儀
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
CG1100-RTP氧氣分析儀 CG1100-RTP氧氣分析儀阿美特克公司為半導(dǎo)體工業(yè)提供的擴(kuò)展系列產(chǎn)品。CG1100-RTP氧氣分析儀特別為工業(yè)上的快速熱處理(RTP)晶片制作系統(tǒng)所開(kāi)發(fā),滿足了在RTP工具上使用的特殊需要,處于領(lǐng)導(dǎo)地位的半導(dǎo)體工具制造商已經(jīng)將其集成進(jìn)他們*新的RTP和Mini-Batch系統(tǒng)。CG1100-RTP氧氣分析儀在百萬(wàn)分之一的濃度檢定氧氣污染物,提高了過(guò)程產(chǎn)量。
詳情介紹:
CG1100-RTP氧氣分析儀
CG1100-RTP氧氣分析儀阿美特克公司為半導(dǎo)體工業(yè)提供的擴(kuò)展系列產(chǎn)品。CG1100-RTP氧氣分析儀特別為工業(yè)上的快速熱處理(RTP)晶片制作系統(tǒng)所開(kāi)發(fā),滿足了在RTP工具上使用的特殊需要,處于領(lǐng)導(dǎo)地位的半導(dǎo)體工具制造商已經(jīng)將其集成進(jìn)他們*新的RTP和Mini-Batch系統(tǒng)。CG1100-RTP氧氣分析儀在百萬(wàn)分之一的濃度檢定氧氣污染物,提高了過(guò)程產(chǎn)量。

概述

CG1100-RTP氧氣分析儀檢測(cè)PPM濃度的氧氣污染物,提高了過(guò)程產(chǎn)量。保護(hù)過(guò)程不受氧氣污染物影響,一旦發(fā)現(xiàn)氧氣背景在可接受的水平上,停止吹掃,可實(shí)現(xiàn)*大生產(chǎn)量。

主要特色

  • 在很寬的操作范圍迅速響應(yīng)。您的系統(tǒng)將會(huì)在0.1 ppm到100%氧氣的操作量程快速響應(yīng)。CG1100-RTP分析儀可用于檢定氧氣污染物和監(jiān)測(cè)凈化循環(huán)。
  •  容易與工具控制器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)集成。CG1100-RTP分析儀配置了一個(gè)RS-232端口和兩個(gè)RS-485端口。配置器軟件用于運(yùn)行參數(shù)的初始設(shè)置和接受用戶提供的軟件,以與工具控制器有效集成??捎媚M數(shù)字輸出和I/O報(bào)警。
  • 電子流量計(jì)和VSO比例電磁閥。同時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)可自動(dòng)控制流量,在一系列樣品輸入/輸出壓力下使用時(shí),電動(dòng)控制樣品流速。
  • 氧化鋯傳感器。不同于其他傳感器技術(shù),您的系統(tǒng)零氧氣讀數(shù)時(shí)不會(huì)失效,從而一直保護(hù)您的系統(tǒng)。
  • 可選擇使用System 2000軟件。對(duì)Windows 95/98/2000/NT/XP的版本,提供圖形用戶界面,增強(qiáng)了連接和過(guò)程監(jiān)測(cè)。
  • 不占空間。8" x 8" x 8"立方體容納所有電子裝置,RS-232端口,(2)RS-485端口,I/O端口和孤立的模擬輸出(4至20 mA)。
CG1100-RTP
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